이 움직임은 논란을 불러일으킬 수 있다. (or) 이 행보는 의아하게 여겨질 수 있다.
로이터 통신 보도에 따르면, 인텔은 습식 에칭 장비 전문 제조업체인 ACM Research의 장비를 검토하고 있다. ACM Research는 미국에 본사를 두고 있으며, 주로 중국에 집중하고 중화인민공화국에서 광범위하게 사업을 운영하는 업체이다. 인텔은 이 장비들을 핵심 공정 기술에 활용하는 방안을 평가 중인 것으로 알려졌다. 인텔은 다양한 제조사의 모든 유형의 장비를 테스트하지만, 이 특정 에칭 장비들 때문에 정치적, 국가 안보 문제가 제기되고 있다. 게다가, 인텔 최고경영자(CEO)인 립 부 탄(Lip Bu Tan)이 설립하고 의장을 맡은 벤처 캐피털 회사인 월든 인터내셔널(Walden International)은 2019년 ACM에 투자한 바 있다.
로이터가 인용한 소식통에 따르면, 인텔은 회사의 성패가 걸린 핵심 파운드리 노력으로 간주되는 14A 제조 공정(2027년 초기 출시 예정)에 사용하기 위해 ACM Research의 습식 에칭 장비 두 가지를 평가했다. 올해 초 인텔은 14A의 대형 외부 고객을 최소한 하나 확보하지 못할 경우, 해당 공정 노드의 양산 출시를 지연하거나 심지어 중단할 수 있다고 밝힌 바 있다. 다만, 이들 평가 장비가 실제로 양산 사용 승인을 받았는지에 대한 공식적인 확인은 없다. 그럼에도 불구하고, 제재를 받은 기업으로부터 장비를 테스트하려는 인텔의 의지는 많은 정치적, 국가 안보적 논란을 불러일으키고 있다. ACM Research는 최근 미국 고객들에게 장비가 출하되었음을 확인했다.
ACM의 사장 겸 최고경영자(CEO)인 데이비드 왕(David Wang) 박사는 "우리는 글로벌 확장 노력에 있어서 중요한 진전을 이루고 있으며, 3분기 동안 미국으로 여러 장비가 납품될 예정입니다"라고 말했다.
인텔 CEO는 외부 고객을 대상으로 하는 18A 노드에 대해 18A-P가 '관심을 받고 있다(inbound interest)'고 평가하고 있다.
[관련 헤드라인 요약]
- 중국의 최고 반도체 임원들은 ASML의 대안을 '작고, 분산되어 있으며, 약하다'고 주장.
[기술 설명]
에칭 시스템이란?
에칭 시스템은 리소그래피를 통해 정의된 패턴을 웨이퍼에서 전사하거나 표면을 처리하는 데 사용됩니다.
습식 처리 방식(Wet Etching)
습식 처리는 화학 용액을 이용해 회로 패턴을 형성하는 기술입니다.
장단점
- 장점: 높은 재현성과 정밀도를 구현하기 용이합니다.
- 단점: 습식 처리 과정에서 발생하는 부산물과 화학 물질 관리가 어렵습니다.
습식 처리 장비
특정 화학 약품을 정밀하게 제어할 수 있는 습식 에처(Wet Etcher)가 사용됩니다.
광식 처리 방식(Dry Etching)
광식 처리는 플라즈마 가스를 이용해 물리적으로 패턴을 새겨내는 방식입니다.
장단점
- 장점: 우수한 종횡비(aspect ratio)와 식각 균일성을 확보할 수 있습니다.
- 단점: 처리 과정이 복잡하고, 특수 가스 공급 시스템이 필수적입니다.
요약 및 비교
습식과 건식 공정은 각각 다른 물리적 메커니즘을 사용하므로, 공정 목적과 재료에 따라 상호 보완적으로 활용됩니다.